В России создадут литограф для выпуска чипов с топологией 7 нм
В нижегородском Институте прикладной физики РАН разрабатывают первый отечественный литограф, который сможет выпускать чипы по топологии 7 нм. Полноценную работу оборудование может начать в 2028 г.
https://www.cnews.ru/news/top/2022-1...sya_razrabotka